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气相沉积炉

产品特点

1、真空:可实现100Pa真空运行

2、保温性能:采用优质石墨保温毡,减少热损失

3、冷却:罐式水冷夹套及上下炉盖水冷夹层,达到最佳的冷却效果

4、工艺气:上进气下排气,保证炉内气氛均匀性

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产品详情

1、设备采用立式罐体设计,炉体及上下炉盖均有水冷夹层结构,可以达到最佳的冷却效果。

2、设备加热电源采用直流电源,可减小高温下保护气的电离,同时增大电极发热效率。

3、设备保温采用石墨毡保温,柔性石墨纸与碳毡贴合的结构,有效防止热辐射,减少热传导,从而达到减少热损失,降低能耗的目的。

4、气路系统为炉膛进气,配置气体质量流量控制器及混气罐,精确控制进入炉体的工艺气,确保炉内气氛的均匀性。管路采用真空快拆接口设计,方便使用及维修。